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背景:
- 无MES系统
- 手工记录统计各检测仪器的检测结果
- 需快速灵活地统计各检测站点的检测结果、计算各站点的CP、CPK、UCL、LCL等控制参数
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项目内容:
- 自动采集XRD、方阻、PECVD、椭偏仪等检测设备产生的检测数据。
- 产品、工艺等主数据信息使用固定模板在Excel中维护。
- 将自动采集的品质检测设备数据与Excel中主数据进行自动集成、处理、发布。
- 基于SPC品控理论,自动生成各种控制图表,对于超过UCL或者变化趋势一场的机台数据进行告警、并将结果反馈至产线。
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主要成果:
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基于可视化SPC控制方案,不断改善品控水平,逐步提高生产能力与品质的稳定性
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